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世界上首臺紫外光源22納米分辨率光刻機(jī)中國問世

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放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2018-12-25   來源:科技日報   瀏覽次數(shù):931
核心提示:11月29日,中科院光電技術(shù)研究所承擔(dān)的國家重大科研裝備研制項目“超分辨光刻裝備研制”通過驗收,這是世界上首臺用紫外光源實現(xiàn)了22納米分辨率的光刻機(jī)。
  11月29日,中科院光電技巧研討所承當(dāng)?shù)膰葒?yán)重科研設(shè)備研制項目“超分辯光刻設(shè)備研制”經(jīng)由過程驗收,這是世界上首臺用紫外光源完成了22納米分辯率的光刻機(jī)。


超分辨光刻裝備研制,國家重大科研裝備研制項目

中科院光電所科研人員操作超分辯光刻裝備(供圖:中科院科技攝影同盟)
 
 
 
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